檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "none".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="干涉系統"
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本文以改良麥克森干涉系統再配合四分之一波片與偏光鏡的組合發展出更高解析度的光學非接觸式量測系統。利用簡單光學元件的組合產生四組不同的相位移狀態,即可得到四組連續的干涉條紋,使系統的解析度提昇四倍,達…