簡易檢索 / 檢索結果

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    相位移干涉系統之平坦度量測
    • 機械工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 潘安勝 指導教授: 曾垂拱
    • 本文以改良麥克森干涉系統再配合四分之一波片與偏光鏡的組合發展出更高解析度的光學非接觸式量測系統。利用簡單光學元件的組合產生四組不同的相位移狀態,即可得到四組連續的干涉條紋,使系統的解析度提昇四倍,達…
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